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流體名稱
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Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（實(shí)際氣體校準(zhǔn)）
其他氣體在轉(zhuǎn)換后進(jìn)行校準(zhǔn)，實(shí)際氣體校準(zhǔn)請(qǐng)另行咨詢
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流量范圍
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0.5~5ML/MIN ～ 2~20L/MIN
※可選：0.5~3ML/MIN
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精度
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FS±2％（計(jì)量點(diǎn)）
※可選 FS±1%（計(jì)量點(diǎn)）
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耐壓
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0.5MPa
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材質(zhì)
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SS制
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BS制
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主機(jī)區(qū)塊
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SUS316
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黃銅
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錐形管
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硬質(zhì)玻璃
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密封材料
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氟橡膠
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NBR
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浮標(biāo)
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硬質(zhì)玻璃、SUS316
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保護(hù)罩
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丙烯
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*高使用溫度
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60℃
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連接端口
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Rc1/4（標(biāo)準(zhǔn)）
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