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產(chǎn)品名稱:
ULVAC愛發(fā)科 半導(dǎo)體螺桿式干式真空泵
產(chǎn)品型號:
MS120A
產(chǎn)品展商:
其它品牌
折扣價(jià)格:
0.00 元
關(guān)注指數(shù):138
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
ULVAC的產(chǎn)品包括產(chǎn)生真空的“真空泵”、測量真空（壓力）的“真空計(jì)”、測量真空中氣體類型的“過程氣體監(jiān)視器”以及識別泄漏點(diǎn)并檢查泄漏量的“泄漏檢測器”。我們開發(fā)并提供各種真空技術(shù)所需的真空設(shè)備和部件，包括“薄膜沉積設(shè)備電源”和“真空閥”等部件。MS120A
ULVAC愛發(fā)科 半導(dǎo)體螺桿式干式真空泵
的詳細(xì)介紹
日本ULVAC愛發(fā)科油回轉(zhuǎn)真空泵VD系列
VD30C / VD40C / VD60C / VD90C/
日本ULVAC螺桿式干式真空泵
愛發(fā)科MS120A / MS600A / MS1200A
日本ULVAC愛發(fā)科 油回轉(zhuǎn)真空泵
VS系列 ULVAC超真空
VS300A-W
日本ULVAC愛發(fā)科超真空泵
油回轉(zhuǎn)真空泵 VS1501/ VS2401
日本ULVAC愛發(fā)科
旋片式（單級）油回轉(zhuǎn)真空泵
VS650B-A / VS650B-W / VS650B-WL *1 / VS750B-A / VS750B-W
ULVAC愛發(fā)科可選配件
真空干燥器 VDE-3
愛發(fā)科ULVAC渦旋式干式真空泵DIS/DISL系列
DIS-252/DISL-252
愛發(fā)科ULVAC油回轉(zhuǎn)真空泵
PVD系列
皮帶驅(qū)動低速旋轉(zhuǎn)泵具有安靜、穩(wěn)定的泵送特性
PVD-180(B) / PVD-360(B)
愛發(fā)科ULVAC
多級羅茨干式真空泵
HR/UR系列 UR421-T / UR600 / UR1200 / UR1800 / UR3601-TT/
UR421-T / UR90/ UR90 / UR180 / UR421-T
愛發(fā)科ULVAC多級羅茨干式真空泵
GR系列
GR60A GR90A GR180A
MS系列真空泵屬于螺桿式干式真空泵。這是一款耐過程干式真空泵，在傳統(tǒng)LS 系列的基礎(chǔ)上提高了耐腐蝕性和粉末排放性能。設(shè)計(jì)用于涉及腐蝕性氣體或粉末抽真空的真空工藝。
特征
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對轉(zhuǎn)子軸、筒體等主要部件進(jìn)行特殊的表面處理，具有較高的耐腐蝕性。
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ULVAC 獨(dú)特的螺桿式轉(zhuǎn)子軸設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了高粉末排出性能。
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可在從大氣壓到極限壓力的整個(gè)壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行。
目的
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電子零件、半導(dǎo)體制造設(shè)備用真空排氣系統(tǒng)
蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等
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真空熱處理爐、真空抽氣系統(tǒng)
燒結(jié)爐、滲碳爐等。
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鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)
電極干燥設(shè)備、消泡設(shè)備、注液設(shè)備等
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醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備真空排氣冷凍干燥設(shè)備
、真空干燥設(shè)備等。
*MS1200A 可單獨(dú)購買，并添加控制板和傳感器。請聯(lián)系我們。
規(guī)格
*1：典型值
*2：極限壓力
*3：使用吹掃氣體時(shí)的*大水蒸氣處理量。
*4: 包括消音器
尺寸圖
代 理日本各類工業(yè)品:SAN-EI三英(點(diǎn)膠閥），MUSASHI武藏點(diǎn)膠機(jī)（點(diǎn)膠機(jī)），UNIX優(yōu)尼（焊錫機(jī)）,Nordson諾信EFD（點(diǎn)膠機(jī)），IEI巖下（點(diǎn)膠機(jī)），aicohsha愛工舍ACM（立式攪拌機(jī)），日本KURABO倉紡脫泡機(jī)，日本THINKY日新基脫泡機(jī)，KLEENTEK可濾特（靜電凈油機(jī)），ASAHIKASEI旭化成（工業(yè)泵），TAGAWA十川（軟管），YODOGAWA淀川（集塵機(jī)），MALCOM馬康（錫膏粘度計(jì)），USHIO牛尾（點(diǎn)光源），SHOWA昭和電機(jī)（鼓風(fēng)機(jī)），TSUBAKI椿本鏈條，KIKUSUI菊水（電源），CEDAR思達(dá)（扭力測試儀），MEISEI邁澤（電熱剝線器）、SANKO山高(膜厚儀)、TAKASAGO高砂制作所（直流電源）、CCS光源(光源)、Tsubosaka壺坂（輝度箱）、POLARION普拉瑞（探照燈）AITEC艾泰克（檢查光源）、Iwasaki巖崎（金鹵燈）、OTSUKA大塚電子（光學(xué)膜厚儀）、KOSAKA小坂（臺階儀）、HORIBA堀場儀器（分析儀）、cosmo科斯莫（氣體測試儀）、SIBATA柴田科學(xué)（環(huán)境測定）、TORAY東麗濃度儀（氧氣分析儀）、RION理音（測振儀）、HOKUTO DENKO北斗電工、SANYOSEIKO山陽精工、日本IMV愛睦威地震儀、TML東京測器、TOE東京光電子、SIGMAKOKI西格瑪光機(jī)、FLOWELL 福威、ASAHI旭有機(jī)材、LUCEO魯西歐（偏光應(yīng)力儀）、KYOWA共和（應(yīng)變片）、ONOSOKKI小野（傳感器）、FUJIKURA藤倉（單向閥）TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)（粘度計(jì)）、SK新瀉精機(jī)（水平測量尺）SKSATO佐藤（溫度記錄儀）、TECLOCK得樂（硬度計(jì)）、AND愛安得（電子天平）、KEM京都電子（水分儀）、TOHNICHI東日（扭力扳手）、Heishin兵神（定子）、TOKKYOKIKI特許機(jī)器（抗震臺）、ULVAC愛發(fā)科泵、IWAKI易威奇（泵）、kashiyama柏山（干式泵）、MARUYAMA丸山(泵)、AMAYA天谷制作所(半導(dǎo)體晶圓設(shè)備)、YUASA湯淺(彎折試驗(yàn)機(jī))、SIMCO思美高（離子棒），SSD西西蒂(離子風(fēng)扇)，DIT東日技研（防靜電），KASUGA春日(離子棒)，TRINC高柳(靜電儀器設(shè)備)、Kanetec強(qiáng) 力(高斯計(jì))、SAKURAI櫻井(無塵紙)、Nitto-Kohki日東工器(快速接頭)、NIRECO尼利可(傳感器)、TOFCO東富科(流量計(jì))、eoptics頤光科技(反射膜厚儀)、Filmetrics優(yōu)尼康(膜厚測量儀)、TOKYO KEISO東京計(jì)裝(超聲波液位計(jì))、RKC理化工業(yè)(數(shù)顯控制器)、YAMATO雅瑪拓（恒溫箱）YAMADA雅瑪達(dá)(隔膜泵)、KOFLOC小島(浮子流量計(jì)）、KITZ開滋(閥門)、CKD喜開理(氣缸)、AMANO安滿能(集塵機(jī))、NYS西村化工(半導(dǎo)體)