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橢圓偏光膜厚量測(cè)儀(手動(dòng))[產(chǎn)品打印頁面]

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如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以 產(chǎn)品名稱: 橢圓偏光膜厚量測(cè)儀(手動(dòng))
產(chǎn)品型號(hào): 產(chǎn)品特點(diǎn) 400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速量測(cè)橢圓偏光光譜。 自動(dòng)變更反射量測(cè)角度,可得到更詳
產(chǎn)品展商: OTSUKA大冢光學(xué)
折扣價(jià)格: 0.00 元
關(guān)注指數(shù):575
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速量測(cè)橢圓偏光光譜。 自動(dòng)變更反射量測(cè)角度,可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。 采用正弦桿自動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,展現(xiàn)量測(cè)角度變更時(shí)優(yōu)異的移動(dòng)精度。 搭載薄膜分析所需的全角度同時(shí)量測(cè)功能。 可量測(cè)晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。

橢圓偏光膜厚量測(cè)儀(手動(dòng))

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產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速量測(cè)橢圓偏光光譜。
  • 自動(dòng)變更反射量測(cè)角度,可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。
  • 采用正弦桿自動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,展現(xiàn)量測(cè)角度變更時(shí)優(yōu)異的移動(dòng)精度。
  • 搭載薄膜分析所需的全角度同時(shí)量測(cè)功能。
  • 可量測(cè)晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。

量測(cè)項(xiàng)目

  • 膜厚測(cè)量

產(chǎn)品規(guī)格

樣品對(duì)應(yīng)尺寸 100 × 100 mm
量測(cè)方式 偏光片元件回轉(zhuǎn)方式
入射/反射角度范圍 45 ~ 90°
入射/反射角度驅(qū)動(dòng)方式 反射角度可自動(dòng)變更
波長量測(cè)范圍 300 ~ 800 nm
分光元件 Poly-chrometer
尺寸 650(H)× 400(D)× 560(W)mm
重量 約50 kg

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