特長?効果

ドライクリーナで3μmの粉塵を100％除去可能です。 新開発高効率ヘッドを採用し、従來よりも更に小風(fēng)量のブロワーを採用できるようになりました。（當(dāng)社比） 中央で超音波エアーナイフを垂直に吹きつけ、両サイドでバランス良くバキュームする構(gòu)造は、エアー漏れを低減させ、より効率のよいクリーニングを行います。 ブロワースペースもコンパクトであり、安価となります。（當(dāng)社比） ドライ洗浄方式のため、液交換作業(yè)や乾燥工程も不要で、設(shè)備やランニングコストが安くなります。 超音波がノズル有効長に均一に出力されるため、除塵能力が均一です。 超音波発生裝置は長久的に性能劣化がありません。 非接觸式のため基材の表面への損傷はありません。

除塵テスト及びその結(jié)果
社內(nèi)クリーンルーム（クラス100）內(nèi)でのテスト結(jié)果です。 3μmの微粒子を100％除去しています。（吐出空気圧力（P圧）12kpa）	テスト條件 ●基材：PETフィルム ●粉塵：環(huán)境粉塵3μm ●吐出空気圧力：12kpa ●基材とのギャップ：約2mm ●搬送速度：200mm／sec. ●評価方法：光學(xué)顕微鏡寫真